微環狀結構製法

Abstract

本發明一種微環狀結構製法，係先以一光阻熱熔(Reflow of Photoresist)法製作所需微透鏡光罩，再以超過光阻之玻璃轉換溫度之高溫加熱，使光阻材料內分子動能增加，並受到表面張力作用，使得光阻表面能量趨近於最小，進而形成近似球面的形狀，而形成特殊之微透鏡光罩，並以此微透鏡光罩對正光阻作微影，即可藉由光穿透微透鏡後產生之散射效果，形成所需之微環狀結構，最後，以電鑄法製作模具，使該微環狀結構可供日後大量生產複製者。