Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56880
標題: 微型生物晶片之螢光偵測系統及其製法
MINIATURIZED FLUORESCENCE DETECTING SYSTEM FOR BIO-CHIPS AND ITS MANUFACTURING METHOD
作者: 楊錫杭
YANG, HSIHARNG
李宗哲
LEE, TSUNG TSE
出版社: 精密工程研究所
摘要: 
本發明係有關一種微型生物晶片之螢光偵測系統及其製法,其製法包括:一.準備步驟、二.異向性濕式蝕刻步驟、三.製作微流道步驟、四.微元件封裝步驟、五.成品步驟。本發明在第一基板上設一供光纖固定之微溝槽,此微溝槽側面具有一微反射面部;在一第二基板上設一微流道,此微流道內部容納一螢光質,且此微流道上封一晶片,如此兼具較佳的螢光激發作用、晶片清洗容易且可重複使用,以及較佳的微反射面部等功效。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56880
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