Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56881
標題: 微球透鏡與其陣列之製造方法
作者: 楊錫杭
YANG, HSIHARNG
蔡文仁
出版社: 精密工程研究所
摘要: 
本發明一種微球透鏡與其陣列之製造方法,主要是利用鐵氟龍(PTFE)本身具疏水物理性質之特點,使熔融中之光阻微透鏡接觸角增大成微球透鏡,其步驟係在Si wafer基板上塗佈(coating)一層鐵氟龍薄膜,並藉由一道黃光微影技術將光阻製作成微圓柱結構,再以光阻熱熔法熔融成微球透鏡或微球透鏡陣列,據此,不僅可簡化製程步驟及降低生產設備與材料成本,更可製造出高效能與高品質之微透鏡結構。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56881
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