Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56901
標題: 結構分析系統及方法
作者: 韓斌
出版社: 精密工程研究所
摘要: 
本發明提供一種結構分析系統,可以縮短偵測時間,並節省底片的成本及顯影時間。該結構分析系統適用於分析一待測物的結構,且包含一電磁波源、一頻譜偵測器及一處理模組。該電磁波源用於發射一具有多數頻率成分的電磁波到該待測物。該頻譜偵測器用於在空間中一位置偵測從該電磁波源發出、通過該待測物且傳送到該位置的電磁波之頻譜,以產生一頻譜資料。該處理模組用於根據該頻譜資料計算與該待測物的結構相關的資訊。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56901
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