Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56901
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dc.contributor高玉駿zh_TW
dc.contributor楊祺雄zh_TW
dc.contributor.author韓斌zh_TW
dc.date2011-03zh_TW
dc.date.accessioned2014-06-06T09:07:00Z-
dc.date.available2014-06-06T09:07:00Z-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11455/56901-
dc.description.abstract本發明提供一種結構分析系統,可以縮短偵測時間,並節省底片的成本及顯影時間。該結構分析系統適用於分析一待測物的結構,且包含一電磁波源、一頻譜偵測器及一處理模組。該電磁波源用於發射一具有多數頻率成分的電磁波到該待測物。該頻譜偵測器用於在空間中一位置偵測從該電磁波源發出、通過該待測物且傳送到該位置的電磁波之頻譜,以產生一頻譜資料。該處理模組用於根據該頻譜資料計算與該待測物的結構相關的資訊。zh_TW
dc.language.isozh_TWzh_TW
dc.publisher精密工程研究所zh_TW
dc.relation.urihttp://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkmen_US
dc.title結構分析系統及方法zh_TW
dc.typePatentzh_TW
item.grantfulltextnone-
item.openairetypePatent-
item.cerifentitytypePublications-
item.languageiso639-1zh_TW-
item.fulltextno fulltext-
item.openairecristypehttp://purl.org/coar/resource_type/c_18cf-
Appears in Collections:精密工程研究所
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