Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56920
標題: 形成3D立體似六角形微結構之製程及其應用
作者: 楊錫杭
簡瑞與
李芳原
出版社: 精密工程研究所
摘要: 
本發明係關於一種於<110>的晶圓上蝕刻形成鏡面般3D立體似六角形微結構的製程,該本製程的方式係在<110>矽晶圓特定的<111>晶格面上以紫外光微影製作出平行四邊形圖案,並使用等向性蝕刻液(Buffered Oxide Etchant;BOE)蝕刻出平行四邊形的氧化矽蝕刻遮罩,另用非等向性蝕刻液(氫氧化鉀;KOH)將氧化矽(SiO2)的蝕刻遮罩蝕刻出鏡面般3D立體似六角形凹槽微結構,再以複合材料聚二甲基矽氧烷(Polydimethyl siloxane;PDMS)翻模出3D立體似六角形微結構,並經由電鑄法做出模具,可達到大量複製微結構而提高生產,而本發明兼具有生產設備成本低及製程穩定之特性者。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56920
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