真空吸取微透鏡陣列之製造方法

Abstract

本發明係有關一種真空吸取微透鏡陣列之製造方法，其包括一．準備步驟、二．曝光步驟、三．翻製步驟及四．真空吸取步驟，本發明以光學微影的曝光方式，在光阻層上形成微模柱陣列，並於光阻層上電鑄形成具有微模穴的微模具，將此微模具貼附於透鏡基材上，並置於一真空部內，由微模具的方向對透鏡基材進行抽真空動作，則透鏡基材上面的透鏡光阻層進入微模穴中，形成微透鏡陣列，本發明之製造方法達到兼具微透鏡表面之粗糙度佳、製程穩定、生產設備成本低及微透鏡之造型變化容易等等之優點及功效。