Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/5767
標題: 半導體生產過程氣體用量與產品產量關係之探討-Eight Disciplines of Problem Solving方法之應用
Studies on the gas usage and product output relationship of a semiconductor manufacturer - An application of eight disciplines problem solving method
作者: 陳勁良
Chen, Jing-Lyang
關鍵字: semiconductor;半導體;gas usage;product output relationship;FMEA;氣體用量;產品產量關係;FMEA法
出版社: 環境工程學系所
引用: 1.TSIA台灣半導體協會網站 http://www.tsia.org.tw,2009. 2.工業研究院,產業經濟與趨勢研究中心網站(IEK), http://www.itri.org.tw/chi/iek/,2010/04 3.小野寺勝重,實踐FMEA手法,中衛出版社,2001/04 4.中山大學,半導體製程及原理概述網站,http://www2.nsysu.edu.tw/, 2009/05 5.王文清,利用tool off經驗標準化機台bulk gas測漏方式,科學園區廠務技術研討會,2009。 6.王怡心,如何運用預算管理改善經營績效,工商時報,2003/12。 7.王春和,工業實驗設計(反應曲面設計)講義,中正理工學院,2006。 8.全國團結圈活動網站,http://qcc.csd.org.tw/,2009/06。 9.沈志雄,半導體製程原理與概論,自強工業科學基金會,2006/08。 10.周文彬,大宗氣體供應教育訓練報告,Winbond,2007/09。 11.林惠玲,陳正倉,統計學方法與應用三版,雙葉書廊有限公司,2005。 12.唐麗英,實驗設計(DOE)講義,交通大學工業工程與管理學系,2006。 13.財團法人趨勢研究文教基金會網站,http://www.trend.org.tw/ ,2010/4/10 14.張忠僕,實驗因子選擇法網站,http://www.eurekacp.com.tw/,2009/06。 15.莊達人,VLSI製造技術,高立圖書有限公司,2008/09。 16.許欲凌,SPC基本概念,Winbond/TQM,2007。 17.陳立偉,寶來證券,2010年半導體製造產業投資展望,2009/12。 18.陳相如,QC七大手法,國立雲林科技大學工業工程與管理研究所(竹山秀傳醫院品管圈使用),2004。 19.華邦電子,新進工程師製程教育訓練教材,2004。 20.彭定國等,MINITAB統計分析與應用,新文京開發出版(股)公司,2006。 21.詹昭雄,QIT基本概念, Winbond教學講義,2005 22.維基百科全書,http://en.wikipedia.org/, 2010/3/30 23.楊婉華,評估8D於醫學檢驗室檢驗品質管理系統中異常管理之運用,國軍桃園總醫院病理檢驗部檢驗科,2007。 24.楊朝鈞,建構航空站硬體設施風險架構之研究-FMEA之應用,成功大學交通管理研究所,碩士論文,2002。 25.劉博文,ULSI製程技術,新文京開發出版股份有限公司,2003/05。 26.賴敬智,Bulk Gas Supply System介紹,Winbond,2007/12。 27.簡禎富、施義成、林振銘、陳瑞坤,半導體製造技術與管理,國立清華大學出版社,2006/02。
摘要: 
半導體工業發展日新月異,整體投資與運轉成本亦隨著晶圓尺寸變大而向上攀升,以廠務系統供應而言,氣體費用僅次於電力費用,高居運轉成本第二位。本研究將以某12吋半導體廠實廠運轉模式,探討晶圓產出與氣體消耗的對應關係。2008年全球金融風暴,連帶造成各行業的不景氣,各半導體廠普遍存在運轉成本預算控制的壓力,吾人過去總是以為,氣體的用量與工廠的產量呈現絕對正相關的模式,藉由本研究,更進一步探討氣體用量與工廠產量的關係。
一般產業界常以8D法進行產品流程或品管改善,本研究藉由8D法,其中,再以FMEA(Failure Mode and Effect Analysis)法推算佔氣體費用異常發生最重要的氣體─氦氣,進行一連串的數據收集與分析。第一階段先收集歷史運轉資料,以日產量對應機台流量,加上三倍標準差作為管制線,經過電腦軟體分析,發現無任何相關關係,重新檢視運轉資料後,將與工廠生產無關的部分去除,重新進行分析,並調整管制線到一倍標準差,得到正相關模式後,套用回過去已知的用量異常資料,皆能有效反應出用量異常的數據,推論該用量模式曲線有效,以相同的方法,套用其他氣體如氬氣等,皆能進行有效的掌控。
本案例之半導體工廠過去實際運轉經驗,每年大約會發生一至二次的氣體流量異常,且每次發生都需要一週左右的時間來加以解決,造成氣體費用的浪費大約數十萬到百萬不等。以本案例的半導體廠實廠運轉數據作為分析基本資料,經過本研究實驗的結果,可以推算出,每生產一千片晶圓,大約需要3.63~5.26立方公尺的氦氣與7.47~8.87立方公尺的氬氣,進行每日流量的監控後,可以減少早期發現不正常的使用,減少預算的浪費與對環境造成的衝擊。

Industry of semiconductor develops speedily, the whole investment and operating cost will increase by the size of Wafer, for the system of facility supply, the cost of gas usage next to power, becoming the second of operating cost. This study will demonstrate the operating model of twelve inches semiconductor facility, discussing the relationship of wafer product and gas usage. In 2008, global financial crisis occurred, semiconductor facility faced the pressure of operating and controlling budget, gas usage and output should synchronize increasing for personal opinion, though this study, further will discuss the issue of gas usage and facility output.
So far, semiconductor facility utilizes the eight disciplines problem solving method to improve the processing and quality of manufacture, this study uses it, takes advantage of the failure mode and effect analysis method to calculate the most important Helium percentage of gas usage fee, data collecting and analyzing. First stage, collects operating history data, for daily output equals machine's flow, adding three times root-mean-square accomplish controlling line, though computer analysis, discovering no matter with each other, reviewing operating data, eliminating on relationship of facility product, re-analyzing and adjusting controlling line to archive one time root-mean-square, obtains direct proportion and uses unusual data in past, all can respondent the unusual usage's data in effect, concluding usage model is effectually, the same as Argon.
For this case, semiconductor facility operates experience actuality, each year will occur one or two the unusual event of gas flow, and must take one week to solve problem causing hundreds of thousand to million losing on gas fee. For this study's analysis data basically, the result is that manufacture one thousand wafer, calculating need Helium about 3.63~5.26 cube and Argon about 7.47~8.87 cube, executes flow monitoring, will reduce unusual usage, budget waste and environment impact.
URI: http://hdl.handle.net/11455/5767
其他識別: U0005-2405201023192400
Appears in Collections:環境工程學系所

Show full item record
 

Google ScholarTM

Check


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.