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http://hdl.handle.net/11455/59220
標題: | 二氧化矽和氮化矽薄膜機械性質之量測 | 作者: | 黃敏睿 戴慶良 張原銘 |
關鍵字: | 二氧化矽;氮化矽;薄膜;機械性質;量測 | 出版社: | 台南市:國立成功大學 | Project: | 第27屆全國力學會議 | URI: | http://hdl.handle.net/11455/59220 |
Appears in Collections: | 機械工程學系所 |
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