可調頻率的微機械共振器及具有該共振器的濾波電路

Abstract

一種可調頻率的微機械共振器,設置於一絕緣基板且 包含一調變裝置、一振盪裝置及一驅動裝置。該調變裝置 包括一第一固定件、二分別設置在該第一固定件左右的第 一導電件及第二導電件。該振盪裝置包括二第二固定件及 一與該等第二固定件連接的振盪件。該振盪件包括至少二 彈力臂及一與該等彈力臂相連接並框設該調變裝置的共振 單元。該驅動裝置包括一第三固定件及一設置在該第三固 定件朝向該共振單元的驅動件。當一第一直流電壓注入該 調變裝置且一第二直流電壓串聯一第一交流電壓注入該驅 動裝置可驅動該共振單元以一共振頻率產生共振。