以凝膠溶膠法製造氣體感測器之方法

Abstract

本發明提供一種製造氣體感測薄膜的方法，首先使氫氧化銨與四氯化錫於水中進行水解反應，生成氫氧化錫沉澱；再使氫氧化錫靜置進行縮合反應，生成二氧化錫；將二氧化錫溶於溶劑後，即可塗佈於p型多晶矽，形成二氧化錫塗佈層；最後，將二氧化錫塗佈層於90~160℃下熱烤1~4小時，即製成本發明之氣體感測薄膜。