Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/66935
標題: 一種複合薄膜之微氣體感測裝置及其結構
A COMPOSITE THIN FILM MICRO GAS SENSOR AND ITS STRUCTURE
作者: 戴慶良
DAI, CHING LIANG
陳彥崎
CHEN, YEN CHI
摘要: 
一種複合薄膜之微氣體感測裝置及其結構,分為電阻式與電容式。其中該電阻式的複合薄膜之微氣體感測裝置,係為利用電阻變化來測量待測氣體的分子濃度變化量,該電阻式的複合薄膜之微氣體感測裝置包含:一複合薄膜、一電阻式微氣體感測器及一放大電路。而電容式的複合薄膜之微氣體感測裝置,係為利用電容變化來測量待測氣體的分子濃度變化量,該電容式的複合薄膜之微氣體感測裝置包含:一複合薄膜、一電容式微氣體感測器及一震盪電路。
URI: http://hdl.handle.net/11455/66935
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