Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/9346
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dc.contributor.advisor歐陽浩zh_TW
dc.contributor.advisorHao Ouyangen_US
dc.contributor.author官振台zh_TW
dc.contributor.authorKwan, Jen-Taien_US
dc.date2000zh_TW
dc.date.accessioned2014-06-06T06:43:08Z-
dc.date.available2014-06-06T06:43:08Z-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11455/9346-
dc.description.abstract在高密度記錄媒體的製造上,合金成份與含量。大部分為經驗法則並無一定之規則可循。本實驗主要利用能量損失能譜量(Electron Energy-Lose Spectroscopy EELS)量測3d軌域電子變化,找出合金(Pt)與含量與磁性之關連性。 於實驗中,利用穿透式電子顯微鏡、X-ray繞射儀、Auger Electron Spectrometer,(AES)與Electron Spectroscopy for Chemical Analysis, (ESCA)量測儀等儀器分析市售之硬碟其成份與結構。另外擷取磁性記錄層之能量損失能譜。與用物理氣相沈積純的鈷元素及鉻元素之能量損失能譜比較其3d軌域電子變化之情形。 由實驗結果可知市售之硬碟片為CoCrPt/Cr/AlNi之多層膜,每層膜厚均小於40nm,晶粒大小約為10nm。且磁性層擁有織構,利用中間層Cr(112)織構增強磁性層CoCrPt( )的織構,來增加磁性層之磁晶異向性。在3d電子軌域變化,瞭解磁性層之鈷元素3d軌域比純鈷平均每個原子少0.3個電子;磁性層之鉻元素3d軌域比純鉻平均每個原子少2.1個電子。zh_TW
dc.description.abstractIn the manufacturing process of high-density hard disk, the reason of addition of different kinds of alloys with varied compositions is still not very clear. In this work, we used Electron Energy-Lose Spectroscopy, (EELS) to measure the filling of 3d shell, and related to the magnetism for the CoCrPt magnetic thin films. We analyze microstructures and compositions of magnetic thin film from commercial hard disk by Transmission Electron Microscopy, X-ray spectrometer, Auger Electron Spectrometer,(AES) and Electron Spectroscopy for Chemical Analysis,(ESCA). Then we acquire EELS spectrum and compare 3d-occupancy changes with those of pure Co and Cr. The Sequence of multilayer thin films is C/CoCrPt/Cr/AlNi, and the thicknesses of each layer are 5, 20,35,30nm respectively. The grain size of CoCrPt layer is about 10 nm. The magnetic layers have the texture of CoCrPt( ) situated above Cr(112). We found that the Co lost 0.3 d electrons per atom as in the magnetic layer and the Cr lost 2.1 d electrons per atom.en_US
dc.description.tableofcontents一、 緒論 1-1、前言………………………………………………1 1-2、磁性薄膜…………………………………………2 1-2-1、磁性記錄媒體之種類…………………3 1-2-2、磁性記錄薄膜之生成…………………7 1-2-3、磁性記錄薄膜之分析…………………8 1-3、研究動機…………………………………………9 參考文獻與書目………………………………………13 二、 文獻回顧與理論基礎 2-1、文獻回顧………………………………………16 2-2、磁性原理………………………………………20 2-2-1、原子的磁性…………………………20 2-2-2、磁滯曲線……………………………21 2-2-3、磁性材料的分類……………………21 2-2-4、抗磁力之類型………………………24 2-3、磁性記錄原理…………………………………28 參考文獻與書目…………………………………… 38 三、 實驗步驟與方法 3-1、實驗流程………………………………………43 3-2、試片之製備……………………………………43 3-2-1、實驗試片之準備………………………44 3-2-2、 TEM分析試片之製作…………………46 3-3、分析儀器………………………………………47 3-3-1、穿透式電子顯微鏡實驗………………47 3-3-2、電子能量損失能譜……………………52 3-3-3、X-ray glancing angle 實驗…………57 3-3-4、磁滯曲線實驗…………………………59 3-3-5、Auger及ESCA實驗………………………60 參考文獻與書目………………………………………79 四、 結果與討論---合金元素對d層電子之影響 4-1、電子結構對磁性之影響變化…………………81 4-2、加入合金元素後的磁性變化…………………82 4-3、微結構之分析…………………………………83 4-3-1、X-ray之結構分析……………………83 4-3-2、Auger與ESCA之成分分析……………84 4-3-3、TEM與EDS之分析…………………… 85 4-3-4、Texture之分析………………………87 4-4、電子結構之分析………………………………89 參考文獻與書目……………………………………116 五、 結果與討論---溫度對磁性的影響 5-1、退火溫度對磁性之變化………………………118 5-2、退火溫度對微結構的變化……………………118 5-2-1、X-ray 之結構分析…………………..118 5-2-2、 Auger與ESCA之成分分析……………118 5-2-3、TEM與EDS之分析………………………121 5-2-4、Texture之分析……………………… 122 5-3、電子結構之分析………………………………122 5-4、氧化對磁性之影響……………………………123 參考文獻與書目……………………………………145 六、 結論與展望 6-1、結論……………………………………………146 6-2、未來方向………………………………………147zh_TW
dc.language.isoen_USzh_TW
dc.publisher材料工程學研究所zh_TW
dc.subjectMagnetic Thin Filmsen_US
dc.subject磁性薄膜zh_TW
dc.subjectEELSen_US
dc.subjectHard Disken_US
dc.subjectCharge Transferen_US
dc.subject電子能量損失能譜zh_TW
dc.subject硬碟zh_TW
dc.subject電子轉移zh_TW
dc.title多層磁性薄膜Co-Pt-Cr/Cr/AlNi微結構與磁性之研究zh_TW
dc.titleThe Study of Magnetism and Micro Structure of Magnetic Thin Films Co-Pt-Cr/Cr/AlNien_US
dc.typeThesis and Dissertationzh_TW
item.openairecristypehttp://purl.org/coar/resource_type/c_18cf-
item.openairetypeThesis and Dissertation-
item.cerifentitytypePublications-
item.fulltextno fulltext-
item.languageiso639-1en_US-
item.grantfulltextnone-
Appears in Collections:材料科學與工程學系
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